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光譜儀的微小型化
由于光譜儀的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)以及光譜儀廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域，在微小光譜儀的研究中可以采用多種方法和多種思路。比如改善AOTF的波長覆蓋范圍、波長分辨率和通光本領(lǐng)，可以使它能應(yīng)用于各種光譜化學(xué)分析，而用這樣的元件可以制成結(jié)構(gòu)簡單、性能良好、成本低廉的光譜儀，或者使用分辨率較高的中階梯光柵，與一般棱鏡結(jié)合，進(jìn)行交叉色散，可以得到分辨率很高的二維光譜圖，所以可以根據(jù)微小光譜儀的本身特點(diǎn)和工作環(huán)境要求來進(jìn)行設(shè)計。
微加工技術(shù)的發(fā)展以及MEMS、MOEMS的出現(xiàn)使許多學(xué)科技術(shù)的研究都朝著微驚訝及微小型化的方向發(fā)展，更需要一些特殊條件下（如外星、地下、深海、危險區(qū)等）的工作儀器。光譜儀在未來的新世紀(jì)必將出現(xiàn)高度智能化和微型化的趨勢，微型光譜儀可以說是微型儀器的一種。微型儀器實(shí)際上是具有儀器功能的MEMS/MOEMS產(chǎn)品，是MEMES技術(shù)的實(shí)際應(yīng)用。微型儀器的核心技術(shù)之一是微型傳感技術(shù)，采用各種新原理、新概念的各類傳感器是實(shí)現(xiàn)微型儀器的關(guān)鍵和必要條件�，F(xiàn)在儀器朝著微小型化、智能化的發(fā)展使我們又面臨一個新的考驗(yàn)，也是我們發(fā)展的一個機(jī)遇。
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