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基于光對(duì)準(zhǔn)的多傳感器軸裝配誤差補(bǔ)償技術(shù)
含有多傳感器的微機(jī)電系統(tǒng)在組裝傳感器時(shí),一般存在著軸對(duì)準(zhǔn)問題,軸的非對(duì)準(zhǔn)誤差能導(dǎo)致很大的系統(tǒng)測量誤差.為此提出一種基于光對(duì)準(zhǔn)的誤差補(bǔ)償方法,可以在不需要高精度軸對(duì)準(zhǔn)的前提下,對(duì)裝配后的組件進(jìn)行后續(xù)誤差檢測和實(shí)時(shí)補(bǔ)償,有效地消除裝配誤差對(duì)測量精度的影響.將該方法實(shí)施于微機(jī)電方位水平儀,用以測量姿態(tài),通過仿真結(jié)果證實(shí)了方法的有效性.
作 者： 朱榮 周兆英 孫雪峰 作者單位： 清華大學(xué),精密儀器與機(jī)械學(xué)系,北京,100084 刊 名： 清華大學(xué)學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版) ISTIC EI PKU 英文刊名： JOURNAL OF TSINGHUA UNIVERSITY(SCIENCE AND TECHNOLOGY) 年，卷(期)： 2002 42(11) 分類號(hào)： V447 關(guān)鍵詞： 微機(jī)電系統(tǒng) 多傳感器 軸裝配誤差 光對(duì)準(zhǔn) 誤差補(bǔ)償【基于光對(duì)準(zhǔn)的多傳感器軸裝配誤差補(bǔ)償技術(shù)】相關(guān)文章：
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