旋轉(zhuǎn)載體用硅微機(jī)械陀螺的相位研究

介紹了利用旋轉(zhuǎn)栽體自身旋轉(zhuǎn)作為驅(qū)動力的硅微機(jī)械陀螺的相位提取技術(shù).當(dāng)陀螺的敏感軸平行于載體偏轉(zhuǎn)平面時(shí),硅擺所受的哥氏力最大,輸出為正弦信號的峰值;當(dāng)它的敏感軸和偏轉(zhuǎn)平面垂直時(shí),輸出為正弦信號的零值.因此,以載體的自轉(zhuǎn)信號為基準(zhǔn),通過比較輸出信號波峰在輸入基準(zhǔn)坐標(biāo)中相位的變化可知敏感軸的方向,進(jìn)而能夠確定旋轉(zhuǎn)平面及栽體在空間中的偏轉(zhuǎn)方向.

作 者： 王領(lǐng) 張金科 張福學(xué) WANG Ling ZHANG Jin-ke ZHANG Fu-xue   作者單位： 北京信息工程學(xué)院傳感技術(shù)研究中心,北京市傳感器重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室,北京,100101  刊 名： 微納電子技術(shù)  ISTIC PKU 英文刊名： MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY  年，卷(期)： 2007 44(7)  分類號： V241.5  關(guān)鍵詞： 旋轉(zhuǎn)載體   硅微機(jī)械   陀螺儀   相位  

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