p型透明導(dǎo)電氧化物CuAlO2薄膜的研究進(jìn)展

透明導(dǎo)電氧化物(TCO)的出現(xiàn)開(kāi)拓了光電子器件研究的新領(lǐng)域.但p型TCO的相對(duì)匱乏嚴(yán)重制約了透明氧化物半導(dǎo)體(TOS)相關(guān)器件的開(kāi)發(fā)與應(yīng)用.CuAlO2作為一種天然的p型TCO成為近年來(lái)p型TCO的研究熱點(diǎn).介紹了p型TCO的研究現(xiàn)狀,綜述了不同制備方法制備p型CuAlO2薄膜的研究進(jìn)展,以及在器件方面的應(yīng)用,并對(duì)其前景進(jìn)行了展望.

作 者： 李軍 蘭偉 張銘 董國(guó)波 嚴(yán)輝 LI Jun LAN Wei ZHANG Ming DONG Guobo YAN Hui   作者單位： 北京工業(yè)大學(xué)材料學(xué)院薄膜實(shí)驗(yàn)室,北京,100022  刊 名： 材料導(dǎo)報(bào)  ISTIC PKU 英文刊名： MATERIALS REVIEW  年，卷(期)： 2007 21(3)  分類號(hào)： O6  關(guān)鍵詞： 透明導(dǎo)電氧化物(TCO)   p型TCO   CuAlO2薄膜  

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