數(shù)字圖像消卷積在顯微測量中的應用

研究了數(shù)字圖像消卷積在顯微測量中的應用.在測量系統(tǒng)點擴展函數(shù)的基礎上,利用頻譜空間變換消卷積圖像處理方法,消除了傳統(tǒng)光學顯微成像中的幾何不清晰度.通過對顯微圖像進行復原,實現(xiàn)了反射式一維線寬的顯微精確測量.在醫(yī)用接骨鋼板表面質量的評價中,對10μm量級的劃痕寬度實現(xiàn)了精確和方便的測量.該技術對相關計量技術的發(fā)展具有重要意義.

作 者： 杜華月 顧濟華 楊勇 錢湧 DU Hua-yue GU Ji-hua YANG Yong QIAN Yong   作者單位： 杜華月,顧濟華,DU Hua-yue,GU Ji-hua(教育部現(xiàn)代光學技術重點實驗室,江蘇,蘇州,215006;蘇州大學物理科學與技術學院,江蘇,蘇州,215006)

楊勇,YANG Yong(蘇州大學物理科學與技術學院,江蘇,蘇州,215006)

錢湧,QIAN Yong(江蘇省醫(yī)療器械檢驗所,南京,210037) 

刊 名： 光學技術  ISTIC PKU 英文刊名： OPTICAL TECHNIQUE  年，卷(期)： 2007 33(4)  分類號： O439  關鍵詞： 顯微測量   數(shù)字成像   消卷積   點擴展函數(shù)  

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