聚酰亞胺LB膜真空熱解制備β-SiC膜的STM觀察

掃描隧道顯微鏡(STM)是一種基于量子隧道效應(yīng)對樣品進行高分辨無損測試的表面測試技術(shù)[1], 它可以在原子水平上反映表面分子或原子的排列分布情況, 在物理、化學、生物和微電子界受到高度的重視. STM技術(shù)以及其后發(fā)展起來的原子力顯微鏡(AFM)特別適合LB膜的研究, 能直觀地反映出LB膜中分子排列的微觀結(jié)構(gòu)以及表面缺陷[2,3]. 我們曾通過真空熱解沉積在單晶硅片上的聚酰亞胺LB膜制得了準單晶β-SiC超薄膜[4A～6]. 本文利用STM技術(shù)對聚酰亞胺LB膜以及由它真空熱解而成的SiC膜的表面形態(tài)結(jié)構(gòu)進行了初步觀察和分析.

作 者： 金邦坤 叢樹昕 何平笙   作者單位： 中國科學技術(shù)大學高分子科學與工程系,合肥,230026  刊 名： 高等學�；瘜W學報  ISTIC SCI PKU 英文刊名： CHEMICAL JOURNAL OF CHINESE UNIVERSITIES  年，卷(期)： 2002 23(9)  分類號： O484.1  關(guān)鍵詞： 聚酰亞胺   Langmuir-Blodgett(LB)膜   SiC膜   掃描遂道顯微鏡  

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