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基于DMD高分辨率激光直寫系統(tǒng)設(shè)計(jì)與實(shí)現(xiàn)

時(shí)間:2023-05-02 14:46:37 數(shù)理化學(xué)論文 我要投稿
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基于DMD高分辨率激光直寫系統(tǒng)設(shè)計(jì)與實(shí)現(xiàn)

提出了利用數(shù)字微反射鏡(DMD)實(shí)現(xiàn)高分辨率高速度光刻圖像的方法,通過對(duì)激光直寫系統(tǒng)Holomaker-Ⅲ-B光路的改裝,將DMD代替原來的方孔作為光調(diào)制器,把DMD上的圖像成像在光刻膠板上,得到一個(gè)縮小倍率的高質(zhì)量的任意光斑圖形.此系統(tǒng)分辨率能夠達(dá)到6000DPI,能夠制作出高質(zhì)量的光變圖像,例如2D圖像,2D/3D圖像,3D圖像以及各種精密的微刻圖像和文字,并給出了實(shí)驗(yàn)結(jié)果.

作 者: 陸亞聰 陳林森 魏國軍 邵潔 周小紅 LU Ya-cong CHEN Lin-sen WEI Guo-jun SHAO Jie Zhou Xiao-hong   作者單位: 蘇州大學(xué)信息光學(xué)工程研究所,江蘇,蘇州,215006  刊 名: 激光雜志  ISTIC PKU 英文刊名: LASER JOURNAL  年,卷(期): 2007 28(6)  分類號(hào): O436.1  關(guān)鍵詞: 激光直寫   數(shù)字微反射鏡   光變圖像  

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