多功能微波等離子體教學研究裝置的研制

針對目前國內等離子體技術的教學和研究遠遠落后于工程應用的實際情況,開發(fā)了多功能微波等離子體教學研究裝置.該裝置利用頻率2.45 GHz的微波激勵稀薄氣體放電,形成軸對稱的等離子體球,產(chǎn)生的等離子體無內部電極,可避免放電污染.同時通過微波技術、真空技術、冷卻技術的集成,使該裝置結構緊湊、性能穩(wěn)定、性價比較高.利用該裝置進行了金剛石薄膜沉積與離子體診斷實驗,效果良好.

作 者： 張磊 侯想 胥明 夏明榮 馬志斌 ZHANG Lei HOU Xiang XU Ming XIA Ming-rong MA Zhi-bin   作者單位： 張磊,侯想,胥明,馬志斌,ZHANG Lei,HOU Xiang,XU Ming,MA Zhi-bin(武漢工程大學,等離子體化學與新材料省重點實驗室,湖北,武漢,430074)

夏明榮,XIA Ming-rong(杭州大華儀器制造有限公司,浙江,杭州,311400) 

刊 名： 大學物理  PKU 英文刊名： COLLEGE PHYSICS  年，卷(期)： 2009 28(6)  分類號： O4-33  關鍵詞： 微波等離子體   金剛石膜沉積   離子體診斷  

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