用光譜法測(cè)試相位光柵層的厚度

按傅里葉光學(xué),當(dāng)平面波通過光柵時(shí),不同級(jí)次的衍射角和強(qiáng)度由光柵而定,根據(jù)光柵的衍射頻譜可以反推出光柵本身的多種信息.一個(gè)新的方法就是選用不同級(jí)次的功率譜來測(cè)量相位光柵的深度.對(duì)3塊光柵進(jìn)行了測(cè)試,并給出計(jì)算的光柵深度.同時(shí)給出6塊光柵的測(cè)試結(jié)果--多級(jí)衍射強(qiáng)度,結(jié)果表明誤差值不大于5%.

作 者： 曹向群 連華 李何立   作者單位： 浙江大學(xué)國(guó)家光學(xué)儀器工程技術(shù)研究中心,杭州,3l0027  刊 名： 中國(guó)激光  ISTIC EI PKU 英文刊名： CHINESE JOURNAL OF LASERS  年，卷(期)： 2004 31(z1)  分類號(hào)： O438.2  關(guān)鍵詞： 相位光柵   測(cè)試   衍射譜  

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