界面結合強度激光劃痕測量新方法

薄膜-基體界面結合性能是直接關系到膜基體系最終使用性能和可靠性的關鍵因素和首要指標.在分析界面結合強度劃痕試驗法和激光層裂法的研究與應用現(xiàn)狀的基礎上,提出了界面結合強度紅外激光劃痕和遠紫外線激光劃痕測量新方法,并分析了其技術優(yōu)勢.最后研究了激光劃痕機理和相關的界面結合狀態(tài)診析技術.

作 者： 馮愛新 張永康 謝華錕 周明 蔡蘭   作者單位： 馮愛新,張永康,周明,蔡蘭(江蘇大學機械工程學院,江蘇,鎮(zhèn)江,212013)

謝華錕(成都工具研究所,四川,成都,610056) 

刊 名： 中國激光  ISTIC EI PKU 英文刊名： CHINESE JOURNAL OF LASERS  年，卷(期)： 2004 31(z1)  分類號： O484  關鍵詞： 薄膜技術   界面結合強度   劃痕試驗法   激光層裂法  

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