行星式化學氣相沉積反應器內對流渦旋的數(shù)值模擬

摘要：針對三重進口行星式CVD反應器的輸運過程進行了二維數(shù)值模擬研究.通過改變反應腔幾何尺寸、導流管位置、三重進口流量組合、壓強、溫度等條件,研究反應器內對流渦旋的相應變化.根據(jù)模擬結果,對這類反應器中輸運現(xiàn)象與外部參數(shù)的關系,特別是反應腔內對流渦旋的產生和發(fā)展作了較全面的分析和討論,給出了抑制對流渦旋、獲得薄膜生長所需的最佳輸運過程的條件. 作者： 左然[1]  張紅[1]  劉祥林[2] Author： ZUO Ran[1]  ZHANG Hong[1]  LIU Xiang-lin[2] 作者單位： 江蘇大學能源與動力工程學院,江蘇,鎮(zhèn)江,212013中國科學院半導體研究所,北京,100080 期 刊： 工程熱物理學報   ISTICEIPKU Journal： JOURNAL OF ENGINEERING THERMOPHYSICS 年，卷(期)： 2005, 26(4) 分類號： H8115 Q4725 關鍵詞： 化學氣相沉積    輸運過程    熱對流    數(shù)值模擬    機標分類號： TQ3 TN3 機標關鍵詞： 行星式    化學氣相沉積    反應器    對流渦旋    輸運過程    反應腔    外部參數(shù)    模擬研究    模擬結果    流量組合    進口    幾何尺寸    二維數(shù)值    薄膜生長    相應變    導流管    壓強    溫度    位置 基金項目： 國家自然科學基金，國家高技術研究發(fā)展計劃(863計劃)，江蘇大學�？蒲泻徒谈捻椖� 行星式化學氣相沉積反應器內對流渦旋的數(shù)值模擬[期刊論文]  工程熱物理學報 --2005, 26(4)左然  張紅  劉祥林針對三重進口行星式CVD反應器的輸運過程進行了二維數(shù)值模擬研究.通過改變反應腔幾何尺寸、導流管位置、三重進口流量組合、壓強、溫度等條件,研究反應器內對流渦旋的相應變化.根據(jù)模擬結果,對這類反應器中輸運現(xiàn)象與外部參...

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